设备主要用途:
设备主要用于 垂直显影、垂直蚀刻等垂直线
设备规格 :
长度 ：3550mm
宽度 ：3080mm
高度 ：2555mm
工作高度 ：1100±50mm
适用板件规格:
板件尺寸 ：622mm×724mm
最小板件尺寸 ：622mm×458mm
板件厚度 ：0.05mm–3.2 mm
产速 ：3 Pcs/min
电源 ：3PH 380v 50Hz
气源 ：0.6Mpa
设备特点：
口字型+夹爪式吸具
专为垂直线窄空间设计
六轴关节式机械手多自由度姿态调整
板厚0.05mm–3.2mm
适配垂直线常规板件
配备扫码识别系统
支持与MES系统及AGV物流系统对接