近日，美国与欧盟签署贸易协定，对多数欧洲制造商品征收15%关税，但半导体制造设备等战略产品零关税，ASML设备在美国因此不会涨价。同时，ASML宣布首台EXE：5200出货，还公布了2024年光刻机出货量与营收等情况。
美欧贸易协定下ASML设备关税豁免
据Tom's Hardware报道，本周早些时候美国与欧盟委员会主席签署贸易协定，对进入美国的欧洲制造商品征收15%的关税，不过半导体制造设备等战略产品在零关税安排下可享受豁免。《美国对欧盟生产的半导体设备免征15%关税》一文提到，当地时间2025年7月27日，美国总统特朗普与欧盟委员会主席冯德莱恩达成新贸易协议，美国对大多数来自欧盟的商品征收15%关税，较之前威胁的30%大幅降低，同时欧盟承诺向美国追加6000亿美元投资，并购买价值7500亿美元的美国能源产品。协议对飞机及其零部件、某些化学品、某些仿制药、半导体设备、某些农产品、自然资源和关键原材料实施零关税。这意味着ASML等公司的设备在美国不会涨价。报道指出，对ASML的设备征收15%的关税将大幅增加美国芯片制造商的成本，如每台DUV系统成本将增加约1300万美元，每台EUV设备成本将增加高达4000万美元，对于英特尔、三星和台积电建造的先进晶圆厂来说，可能导致数亿美元的额外成本，这种成本上涨将削弱美国半导体制造业的全球竞争力，并抑制进一步的投资。
ASML EXE：5200出货及行业巨头采用情况
在最新的财报电话会议上，ASML宣布已出货首台EXE：5200，这是专为大批量生产而设计的新一代高数值孔径EUV系统。高数值孔径EUV设备对于更高分辨率（<8 nm，目前的0.33 NA EUV的分辨率为13nm）至关重要，可实现更小的晶体管和更高的晶体管密度。除光学设计不同外，高数值孔径扫描仪还有望提供更快的光罩和晶圆平台以及更高的生产率，例如Twinscan EXE：5200的生产率超过每小时200个晶圆（WPH）。据Tweakers报道，ASML的首台高数值孔径EUV客户已确认为英特尔，英特尔计划将该技术用于其14A节点。尽管ASML自2023年以来一直在交付EXE：5000系统用于测试生产和研发，但首台EXE：5200B的出货标志着高数值孔径EUV现已正式准备好投入批量生产。另一方面，Wccftech认为台积电可能会推迟采用高数值孔径EUV光刻技术，因为预计该公司将在其A14工艺节点上放弃使用该设备，根据台积电路线图，A14计划于2028年投入量产。与此同时，三星尚未设定采用高数值孔径EUV光刻技术的时间表，尽管它正在考虑将该技术用于2纳米以下工艺。
2024年ASML光刻机出货量与营收详情
2024年ASML光刻机营收约235亿美元，较2023年238亿美元略有下滑。2024年ASML共出货418台光刻机，较2023年449台减少31台。其中EUV光刻机出货44台，较2023年减少9台；ArFi光刻机出货129台，较2023年增加4台；ArF光刻机出货28台，较2023年减少4台；KrF光刻机出货152台，较2023年减少32台；i-line光刻机出货65台，和2023年相比增加10台。2024年ASML的EUV光刻机营收占光刻机整体收入的38%，2024年单台EUV平均售价超过1.9亿欧元（约15亿元），较2023年单台平均售价增长11%，这主要是由于2024年公司主要销售TWINSCAN NXE： 3800E，相较TWINSCAN NXE： 3600D价格更高。从2011年出售第一台EUV机台以来，截止2024年第四季出货达280台。2024年加工晶圆超过5.25亿片。
2024年ASML来自中国大陆的光刻机收入及EUV技术发展
2024年来自中国大陆的光刻机收入约90亿欧元，相较2023年的65亿欧元有所增加；占比方面，2024年来自中国大陆的光刻机收入较2023年增加12个百分点。从2018年以来，ASML一是在加速EUV技术导入量产；二是扩大EUV生产规模，从2018年的22台增加到2021年的42台，2022年逾50台，2024年逾60台，预计到2025 - 2026年达到年产90台EUV（极紫外光）光刻机和600台DUV（深紫外光）光刻机，到2027 - 2028年，将增产20个高数值孔径EUV光刻机；三是实验以0.55 NA取代目前的0.33 NA，具有更高NA的EUV微影系统能将EUV光源投射到较大角度的晶圆，从而提高分辨率，并且实现更小的特征尺寸。2024年主力出货的TWINSCAN NXE： 3800E套刻精度为1.1nm，曝光速度30mJ/cm2，每小时曝光195片晶圆，年产量为170万片。据悉NXE： 3800E能提升到每小时220片晶圆，吞吐量比NXE：3600D提高30%。从2017年第二季出货第一台量产机型TWINSCAN NXE： 3400B至今，包括NXE： 3400B、NXE： 3400C和NXE： 3600D、NXE： 3800E累计出货接近250台。根据ASML EUV光刻机路线图显示，预计2025年出货的NXE：4000F最初将以30mJ/cm²的速度提供大过每小时220片的产能。
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